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公司名称: |
天津港东科技发展股份有限公司 |
| 发布日期: |
2005-9-20 |
| 所 在 地: |
天津 |
| 已获点击: |
1604次 |
| 简单介绍: |
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| 主要用于测量镀膜机镀膜后薄膜厚度的测量。可以所以测量非金属单层膜!测量范围:1nm~4000nm; |
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测量最小值:≤1nm;
镀膜折射率范围:1.3 ~ 2.49
入射角:40°~90° 误差≤0.05°;
偏振器方位角范围:0°~180°;
偏振器步进角:0.0375°/步;
仪器测量精度:在10nm处误差为±0.5nm;
光学中心高度:75㎜;
允许样品尺寸直径:Φ10~Φ120㎜,厚度≤10㎜;
外形尺寸:730 x230X 290;
主机重量:30kg;
本仪器分为光源、接收器、主机、电子及通讯四部分,外观参看左图。
1、 光源:采用波长为632.8nm的氦氖激光光源①其特点是:光强大、光谱纯、波长稳定性好。
2、 接收器:采用光电倍增管⑤,把光讯号变为电讯号,经放大后输出至微机,由微机选择出消光位置的角度值。
3、 主机部分:除以上两项外,还有起偏组件②,样品台③,检偏组件④。
4、电子及通讯部分⑥:采集光强及对应的角度值并传输到计算机,再接收由计算机发出的指令逐步靠近消光点。
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